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蒸发镀膜 定义：在高真空中用加热蒸发的方法使镀料转化为气相，然后凝聚在基体表面的方法称蒸发镀膜（简称蒸镀）。 蒸发镀膜的三个过程： A）固相或液相 气相 B）气化原子或分子在蒸发源与基片之间的运输 C) 蒸发源子或分子在基片表面上的沉积过程 优点： 1）设备比较简单，容易操作; 2）制成的薄膜纯度高，质量好，厚度可以较准确控制； 3) 成膜速率快，效率高，用掩膜可以获得清晰的图形； 4）薄膜的生长机理比较简单； 缺点： 1）不容易

摘 要：真空镀膜也叫物理气相沉积（PVD：physics vaporous deposit），它是利用某种物 理过程，如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质从源物质到薄膜的可控的原子转移过程。物理气相沉积技术中最为基础的两种方法就是蒸发法和溅射法。本实验中用到的是蒸发镀膜法来进行真空镀膜。从而了解真空镀膜的原理和操作。 引 言：真空镀膜也叫物理气相沉积（PVD：physics vaporous deposit），它是利用某种物 理过程，如物质的

1. 真空镀膜机真空抽不上去: 抽空时间相同，而真空度偏低，这时候关闭主阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏，应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，重点查找真空泵及阀门看哪里出现泄漏，或是扩散泵油污染或氧化；或前级管路密封不好，泵油不足；或泵油乳化，轴封漏油等。漏--分内漏和外漏，较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，比如用蜡烛或打火机在可疑

1， 来料检查； 2， 干燥，待真空镀膜镀件来料时含较多水分，需干燥处理3-5h，温度为50-60oC； 3， 上架，一般注塑时基本按真空镀膜生产，因此待真空镀膜镀件表面一般油污较少经过一般的擦拭就可上架，但是来料油污多时需进行去污处理。方法是用清洁剂逐件刷洗，漂洗，烘干。油污严重时还需用清洗剂在50-600C，浸泡15-20min进行脱脂处理； 4除尘，这道工序是保证真空镀膜镀膜质量的关键之一，方法有两种：一种是用吸尘器对准待真空镀膜镀件仔细

1、镀膜技术在装饰品方面的应用 随着经济的发展和生活水平的提高，人们喜欢将手表壳、表带、服饰、灯饰、眼镜架、室内外装饰件、五金箱包、手机壳、手机视屏、卫生洁具、食品包装等装饰品精饰得五彩缤纷。 2、镀膜技术在刀具、模具等金属切削加工工具方面的应用 在生活中我们会看到金黄色的、钴铜色的、黑色的等七杂八色的钻头、铣刀、模具等，这些就是经过镀膜技术加工后的涂层工具。 （1）金黄色的是在刀具上涂镀了TiN（锡）、ZrN（

序号 申请号 专利名称 1 02129259.0 用于小尺寸工件真空镀膜的方法及其装置 2 02130875.6 纳米真空镀膜彩虹玻璃 3 01130164.3 真空镀膜涂料（油） 4 96112886.0 用于真空镀膜设备溅射阴极的靶及其制造方法 5 96114591.9 在真空室内放有一个装蒸发物的坩埚的真空镀膜设备 6 85100062 真空镀膜采用致冷器的冷却方法 7 88103924.1 多孔非金属材料表面真空镀膜的方法 8 88105310.4 一种在玻璃钢制品上烤漆或真空镀膜的方法 9 92112053.2 合金真空镀膜法 10 93106288.8 真空镀膜保健餐具

6.1一般术语 6.1.1真空镀膜vacuum coating：在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。 6.1.2基片substrate：膜层承受体。 6.1.3试验基片testing substrate：在镀膜开始、镀膜过程中或镀膜结束后用作测量和（或）试验的基片。 6.1.4镀膜材料coating material：用来制取膜层的原材料。 6.1.5蒸发材料evaporation material：在真空蒸发中用来蒸发的镀膜材料。 6.1.6溅射材料sputtering material：有真空溅射中用来溅射的镀膜材料。 6.1.7膜层材料(膜层材质)film material：组成膜层的材料

真空镀膜工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮，果如真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真空镀膜是依靠蒸发体自然散射，结合差工效低光泽差。现在加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜，解决

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。 中国报告网发布的《2011-2015年中国真空镀膜机产业市场调研与战略咨询报告》共十章。首先介绍了中国真空镀膜机行业市场发展环境、中国真空镀膜机整体运行态势等，接着分析了中国真空镀膜机行业市场运行的现状，然后介绍了中国真空镀膜机市场竞争格局。随后

真空镀膜机维修