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2025-01-15
基于光偏振与光学调制实现白光干涉相移白光干涉仪吧
基于光的偏振特性和一些光学元件对光的调制作用，实现白光干涉中的光学相移原理是一个...
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2025-01-15
测量探头的 “温漂” 问题，都是怎么产生的，以及对于...光学吧
在半导体制造这一高精尖领域，碳化硅衬底作为支撑新一代芯片性能飞跃的关键基础材料，...
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2025-01-14
测量探头的 “温漂” 问题，对于碳化硅衬底厚度测量的...半导体吧
在半导体制造的微观世界里，碳化硅衬底作为新一代芯片的关键基石，其厚度测量的精准性...
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2025-01-14
不同的碳化硅衬底的吸附方案，对测量碳化硅衬底 BOW...碳化硅吧
在当今蓬勃发展的半导体产业中，碳化硅（SiC）衬底作为关键基础材料，正引领着高性能...
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2025-01-13
碳化硅衬底的环吸方案相比其他吸附方案，对于测量碳...晶圆吧
在半导体领域，随着碳化硅（SiC）材料因其卓越的电学性能、高热导率等优势逐渐崭露头...
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2025-01-13
测量探头的 “温漂” 问题，都是怎么产生的，以及对于...碳化硅吧
在半导体芯片制造的微观世界里，精度就是生命线，晶圆厚度测量的精准程度直接关联着最...
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2025-01-10
测量探头的 “温漂” 问题，对于晶圆厚度测量的实际影响半导体吧
在半导体制造这一高精度领域，晶圆厚度的精确测量是保障芯片性能与质量的关键环节。然...
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2025-01-10
不同的真空吸附方式，对测量晶圆 BOW 的影响光学测量吧
在半导体产业蓬勃发展的当下，晶圆作为芯片制造的基础材料，其质量把控贯穿整个生产流...
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2025-01-09
晶圆的环吸方案相比其他吸附方案，对于测量晶圆 BOW...晶圆吧
在半导体制造领域，晶圆的加工精度和质量控制至关重要，其中对晶圆 BOW（弯曲度）和 W...
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2025-01-09
反射镜的移动，实现白光干涉中的机械相移原理光学测量吧
在白光干涉测量中，通过反射镜的移动来实现机械相移原理是一种常见且有效的方法。以下...
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2025-01-08
用于半导体外延片生长的CVD石墨托盘结构碳化硅吧
一、引言 在半导体制造业中，外延生长技术扮演着至关重要的角色。化学气相沉积（CVD）...
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2025-01-08
通过样品台的移动，实现白光干涉中的机械相移原理白光干涉仪吧
在白光干涉测量技术中，通过样品台的移动来实现机械相移原理是一种常用的且高精度的方...
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2025-01-07
钟罩式热壁碳化硅高温外延片生长装置晶圆吧
一、引言 随着半导体技术的飞速发展，碳化硅（SiC）作为一种具有优异物理和化学性质的...
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2025-01-07
光学元件的插入与移除，实现白光干涉中的机械相移原理白光干涉仪吧
在白光干涉测量中，通过光学元件的插入与移除来实现机械相移原理是一种独特而有效的方...
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2025-01-06
减少减薄碳化硅纹路的方法半导体吧
碳化硅（SiC）作为一种高性能半导体材料，因其出色的热稳定性、高硬度和高电子迁移率...
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2025-01-06
白光干涉中，通过样品台的移动，实现机械相移技术白光干涉仪吧
一、基本原理 在白光干涉仪中，光源发出的光经过扩束准直后，通过分光棱镜被分成两束...
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2025-01-03
高温大面积碳化硅外延生长装置及处理方法晶圆吧
碳化硅（SiC）作为一种具有优异物理和化学性质的半导体材料，在电力电子、航空航天、...
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2025-01-03
白光干涉的技术演变过程白光干涉仪吧
一、初步应用阶段 在20世纪五六十年代，国内外相继出现了一些应用型白光干涉仪。这些...
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2025-01-02
检测碳化硅外延晶片表面痕量金属的方法半导体吧
碳化硅（SiC）作为新一代半导体材料，因其出色的物理和化学性质，在电力电子、微波器...
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2025-01-02
白光干涉中的机械相移，对于反射镜移动的技术难点白光干涉仪吧
一、反射镜移动精度要求高 白光干涉测量对光程差的改变非常敏感，即使是微小的移动也...
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